数控晶圆倒角机WGM-600/800为晶圆磨边、晶圆倒角的专用设备，利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。适用于2″- 6″晶圆、4″- 8″晶圆

可加工T型、R型、RR型等多种边形的晶圆

按照设定参数数控自动倒角加工

可加工参考边型晶圆及圆片

自动进行粗研及精研加工

可加工方片等异形晶圆

可自动检测晶圆直径

配备晶圆清洗功能

配备晶圆干燥功能