采用单片晶圆湿式工艺设备，适用于2"-6"晶圆、4″- 8″晶圆、8″- 12″晶圆。

工艺过程可编程，适应于晶圆*终清洗、投片前清洗、晶圆刻蚀等不同工艺

可对正面及背面同时进行清洗或腐蚀

采用双手指机械臂传送晶圆

采用双面无基础清洗载物台

配备双面PVA刷洗功能

配备药液控温单元

配备自动配药单元

可选配兆声单元

可选配自动灭火单元