江苏创生源智能装备股份有限公司
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产品详情
  • 江苏创生源
    参考报价：电议
    型号：SiC CMP抛光设备
    产地：江苏
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    • 详细介绍：


    系统配置

    系统类型:全自动化干燥/干燥晶圆尺寸:150mm或200mm工艺可行·EFEM:2-盒式，传输机器人中间机器人


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