郑州恒通炉业有限公司
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    参考报价:电议
    型号:CVD石墨烯生长炉
    产地:河南
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  • 详细介绍:


    CVD石墨烯生长炉专门针对于用在金属箔上生长薄膜物质,如石墨烯、使用时把金属箔附在内管上。其**工作温度可以达到1200℃,专门针对于用CVD化学气相沉积方法在金属箔上生长薄膜物质,如石墨烯、太阳能电池的电极材料和电池电极材料等。

     

    石墨烯生长炉由HTTF1200真空管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ,**温度可以达到1200,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

     

    石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统(化学气相沉积系统),是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计,广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。

     

    HTTF-1200真空管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

    真空管式炉软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PVSV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

     

    产品名称

    石墨烯生长炉(纳米管生长炉)

    产品型号

    HTTF-1200-CVD

    管式炉

    加热区长度

    440mm

    恒温区长度

    150 (+/-1 )

    工作温度

    1100℃(此温度为长期加热温度)

    **温度

    1200

    炉管尺寸

    Φ60×1440mm

    等离子射频电源

    输出功率

    500W    ± 1% . 

    射频频率

    13.56 MHz    ±0.005% .

    反射功率

    **约200W 

    阻抗匹配

    自动

    真空泵机组(双极旋片泵)

    真空度

    10-3torr

    波纹管

    KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连.

    质量流量计

    四通道控制

    精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口

    MFC 1范围

    0~100 sccm 

    MFC 23

    0~500 sccm  

    进气接口

    1/4NPS

    出气接口

    1/4NPS

    水冷系统

    水冷法兰要求

    水流量 >= 10L/M ,配有专业水冷机组

     

    石墨烯生长炉标准配件:

    质子混气系统1台、双旋机械泵1台、水冷系统1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、说明书1.