氧化亚硅烧结炉适用于氧化亚硅等可气相沉积材料大批量生产；温差控制精度高，高温高真空；具备高真空升华，反应，脱脂，脱水，气相沉积材料自动研磨刮料，炉内收集等特殊工艺能力。

产品参数：