产品特性

对气体分子有较高的电离和分解程度，离子密度均匀

高压源和等离子体发生器互相隔离，安全因素高

人性化操作界面，易操作和保养维护

性能可靠，良好的互锁、故障报警和实时监控功能

腔体后端安装有屏蔽系统，避免电磁辐射

工艺选择性去除污染物

可同时存储多组配方，调用即可

全过程工艺可控，可在线设置、修改、监控各种工艺参数

没有内部电极，在等离子腔体内没有工作气体以外的任何物质污染源，洁净度高

可选自动门方式，方便后续自动化连线需求

产品参数