CVD@TaC涂层系列产品中心

湖南德智新材料股份有限公司

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产品详情

湖南德智

CVD@TaC涂层系列

参考报价：电议
型号：CVD@TaC涂层系列

产地：湖南
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详细介绍：

材料及特性

• 基材：等静压石墨（厚度>0.5 mm）

• 涂层：TaC（厚度<300 μm）

应用场景

晶圆制造

• 单晶生长

• 外延

实现技术

• 精密加工（石墨）

• 低压化学气相沉积（LPCVD）

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