耐高温
耐高压
耐磨
使用寿命高
耐腐蚀性
纯净度高
• 基材：等静压石墨（厚度>0.5 mm）
• 涂层：涂层：β-SiC（厚度<300 μm）
晶圆制造
• 外延
• 扩散
• 精密加工（石墨）
• 低压化学气相沉积
• 致密度高
• 结合力强
• 高纯度
• 高导热
• 耐腐蚀
• 抗开裂
• LED光电
• 集成电路
• 第三代半导体
