SSX600系列光刻机
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品牌:
产地: 上海
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型号: SSX600系列光刻机
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产品介绍

SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术,可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求,可用于8寸产线或12寸产线。

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上海微电子装备(集团)股份有限公司

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91310000736664790J

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