在气相色谱分析中作载气，降低分析误差。

用于MOCVD中，超纯氢是MOCVD中*理想的携带气体。载气越纯，后续工艺越可控。

用于GaN和SiC外延技术的氢化物气相外延。

生产低功耗、小体积燃料电池。

产品简介

钯管式氢气纯化器是利用钯膜选择性透氢的特性，在钯膜一侧通入粗氢另一侧可得到超纯氢气。超纯氢气可用于大学、实验室以及工业化生产，特别在半导体终端和核车工上有不可替代性，

产品特点

出口气体各杂质≤1ppb

整机漏率≤1*10-10mbar.L/s.He

多温区设计，保证热均匀性

采用真空镀膜技术和独特的材料扩散工艺对其进行焊接

通过适时的改变温度、压力和注入有效气体避免氢脆、氢裂现象