一、技术参数：

       1、处理气量：≤1-4Nm3/h

       2、原料气纯度：≥99.9％

       3、纯化后符合并高于GB/T4842-2006的99.9999%要求

         各项指标如下、           

             H2≤0.1ppm  

             O2≤0.1.ppm  

             N2≤0.1.ppm  

             含碳量≤1.ppm

             露点  1.ppm

      4、出口压力：0.05～0.8Mpa可调