产品介绍 

MGDS 隔膜阀，膜片式硬密封结构，超低漏率；适用于超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足一体化气体分配系统的使用。

主要部件材料 

阀体         316L /316L（VIM+VAR） 

膜片        Ni-Co alloy /UNS R30003

密封垫     PCTFE

工作条件

工作压力              150psig

爆破压力           450psig

流量系数           0.1/0.3HF

工作温度           -10 ～ 80℃

内漏率              ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外漏率              ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

内表面粗糙度    Ra ≤ 0.1μm

产品特点 

适用于一体化气路分配系统

每台阀门进行单独氦质谱泄漏测试

超长使用寿命