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Uα-1B 气体减压器
报价:面议
品牌: 中科艾尔
产地: 北京
关注度: 32
型号: Uα-1B 气体减压器
核心参数

流动方向:其他

连接通道:其他

驱动方式:其他

连接方式:其他

材质:其他

压力:300psig

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产品介绍
  产品介绍


Uα-1B 气体减压器专为超高纯气体,半导体级工艺气体设计,满足超大规模集成电路的使用要求。


  主要部件材料


阀体316L(VIM+VAR)
膜片UNS N06022
阀针316L(VIM+VAR)/ UNS N10276
密封垫PCTFE / PI
手柄ABS
阀盖316L


  工作条件


进口压力300psig
出口压力-25in Hg~0~30psig,30,60,100,150psig
原压变动1.3psig / 100psig
工作温度-10 ~ 60℃
内漏率≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系数1.1
内表面粗糙度Ra ≤ 0.1μm


  产品特点


适用于 VMB、VMP
提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件选项
每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测
内部无弹簧,内部死体积小,减少了颗粒物的存留
束缚膜片结构,增加安全性


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工商信息
企业名称

中科艾尔(北京)科技有限公司

企业类型

信用代码

9111030267280057XU

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成立日期

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