纯化系列
脱除杂质ppb
气体
型号
纯化工艺
H2O
CO2
挥发性酸VA
挥发性碱VB
耐熔化合物RC
总有机碳TOC
XCDA
PX
吸附 (Absorb)
<0.1 ppb
－
<10ppt
应用领域：
纯化用于半导体应用的XCDA
