指标表
典型应用
半导体、LED/激光、太阳能光伏行业
光纤行业
气体行业
冷轧行业
化工行业
工艺介绍
气体通过吸附工序,深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO、H2等杂质;
吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用;
多柱交替吸附、再生、可实现对气体的连续纯化。