版本：

无电极，无污染源，长寿命；

     等离子体不带电，不会对精密电路造成损坏；

     能在高气压下维持等离子体；

     有较高的电离和分解程度；

     自偏压要求低；

     微波发生器稳定，易控制；高压源和发生器互相隔离，安全；

半导体晶圆和集成电路制造（前、后道工序）中的等离子清洗设备

LCD显示屏的制造设备

太阳能电池生产的制造设备

各种无机材料，高分子材料，玻璃，金属等的等离子清洗设备