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阵列式微波源等离子模块ALAMPS
报价:面议
品牌: 奋羽电子
产地: 四川
关注度: 11
型号: 阵列式微波源等离子模块ALAMPS
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产品介绍


技术参数

项目

固态源版本

磁控管版本

长*宽*高

626mm*552mm*380mm

605mm*595mm*632mm

输出功率

1.0kW×2

1.25kW×2

输出频率

2450MHz±25MHz

2450MHz±25MHz

频率误差

±50ppm

±50ppm

微波泄露

≤2mW/cm2

≤2mW/cm2

供电电压

AC220V±10%

AC220V±10%

供电频率

50Hz±2Hz

50Hz±2Hz

进/出水口

1/8宝塔接头

DN15

冷却方式

水冷(1/8宝塔接头,水流量≥2.5L/mi0)

水冷(1/8宝塔接头,水流量≥2.5L/min)

控制接口

RS485通信协议

远程通讯功能

工艺气体

Ar、O2、H2、CF4等

Ar、O2、H2、CF4等

等离子处理面积

0.19m2

0.15m2


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