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阵列式微波源等离子模块ALAMPS
报价:面议
品牌: 奋羽电子
产地: 四川
关注度: 170
型号: 阵列式微波源等离子模块ALAMPS
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产品介绍


技术参数

项目

固态源版本

磁控管版本

长*宽*高

626mm*552mm*380mm

605mm*595mm*632mm

输出功率

1.0kW×2

1.25kW×2

输出频率

2450MHz±25MHz

2450MHz±25MHz

频率误差

±50ppm

±50ppm

微波泄露

≤2mW/cm2

≤2mW/cm2

供电电压

AC220V±10%

AC220V±10%

供电频率

50Hz±2Hz

50Hz±2Hz

进/出水口

1/8宝塔接头

DN15

冷却方式

水冷(1/8宝塔接头,水流量≥2.5L/mi0)

水冷(1/8宝塔接头,水流量≥2.5L/min)

控制接口

RS485通信协议

远程通讯功能

工艺气体

Ar、O2、H2、CF4等

Ar、O2、H2、CF4等

等离子处理面积

0.19m2

0.15m2


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成都奋羽电子科技有限公司为您提供奋羽电子阵列式微波源等离子模块ALAMPS,阵列式微波源等离子模块ALAMPS产地为四川,属于半导体行业专用仪器,除了阵列式微波源等离子模块ALAMPS的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供波导连接器件、远程微波等离子体系统RPS、波导同轴转换器。
工商信息
企业名称

成都奋羽电子科技有限公司

企业类型

信用代码

91510100MA69LG0H37

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成立日期

注册资本

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