d)膜厚修正板：0.005°

e)挡板:  position switch

3）光学监控系统OMS

a) 波长范围：380nm～1650nm

b) 光源稳定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02%

c) 波长分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm

d) 波长准确度: 白光0.2nm ，激光0.1nm