型号：IBSV-1030    

特点：

a)基板垂直放置，水平监控；

b)转靶左右可调，保证靶面中心和离子源**距离；

c)基板：12吋×1 ;

d)靶材：两靶或三靶可更换；

e)多光路监控。

f)工件夹具：12吋

工艺参数：

1）真空系统

a)极限真空度：4.0×10-5Pa 

b)抽至10Pa所用时间 10 Pa：≦ 10 分钟

c)漏率：3.0×10-5Pa m3/se

型号：IBSV-1030    

特点：

a)基板垂直放置，水平监控；

b)转靶左右可调，保证靶面中心和离子源**距离；

c)基板：12吋×1 ;

d)靶材：两靶或三靶可更换；

e)多光路监控。

f)工件夹具：12吋

工艺参数：

1）真空系统

a)极限真空度：4.0×10-5Pa 

b)抽至10Pa所用时间 10 Pa：≦ 10 分钟

c)漏率：3.0×10-5Pa m3/se