特点：

1、基板水平放置，垂直监控；

2、靶材左右移动，位置和速度可编程控制；

3、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4、靶材：两靶，三靶或四靶可更换；

5、多光路监控。

6、无膜厚分布修正板