工艺参数：

一，真空系统

1、极限真空度：4.0×10-5Pa 

2、抽至10Pa所用时间：≦ 10 分钟

3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec

二，控制精度

1、靶材旋转：0.005°

2、工件旋转:<1000RPM

3、编码器: 12000lines;480000Counts/rev

4、膜厚修正板：0.005°

5、挡板:  position switch