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水平离子溅射镀膜设备
报价:面议
品牌: 杰莱特
产地: 江苏
关注度: 19
型号: 水平离子溅射镀膜设备
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产品介绍


工艺参数:

一,真空系统

1、极限真空度:4.0×10-5Pa 

2、抽至10Pa所用时间:≦ 10 分钟

3、漏率: 3.0×10-5Pa m3/sec

二,控制精度

1、靶材旋转:0.005°

2、工件旋转:<1000RPM

3、编码器: 12000lines;480000Counts/rev

4、膜厚修正板:0.005°

5、挡板:  position switch




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杰莱特(苏州)精密仪器有限公司为您提供杰莱特水平离子溅射镀膜设备,水平离子溅射镀膜设备产地为江苏,属于半导体行业专用仪器,除了水平离子溅射镀膜设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供垂直镀膜机、蒸发镀膜设备、离子镀膜设备。
工商信息
企业名称

杰莱特(苏州)精密仪器有限公司

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