2）控制精度

a)靶材旋转：0.005°

b)工件旋转: <1000RPM

c)编码器Encode: 12000lines;480000Counts/rev

d)膜厚修正板：0.005°

e)挡板:  position switch

3）光学监控系统OMS

a) 波长范围：380nm～1650nm