1）真空腔 

2）抽气系统 

a) OSAKA FR060D

b) BROOKS CTI OB400 & 9600 compressor/Leybold DIP8000

c) Flapper Valve

d) Inficon vacuum gauge

3）电子枪 JEOL BS-60050EBS

4）高精度镀膜基板温度控制双加热系统,**温度:350℃

5）高精度控制工件高速旋转

6）6片石英芯片晶体膜厚控制仪

7）镀膜基板自动翻面功能 

8）同点实时监控光学膜厚仪