YZ-2050EBI 光学真空镀膜机

真空室内腔尺寸:

p2050mm*H1650mm

晶控:MXC-3B +六探头

真空系统:扩散泵+双极旋片泵+罗茨泵+维持泵+POLYCOLD

蒸发源:双枪+固定阻基