晶控:MXC-3B +六探头

空载极限真空:8.0x10-5Pa

加热温度:**300%C

电源:三相 380V50HZ

蒸发源:双枪+固走阻基

空载恢复真空:2x103pa s15min

选件:RF离子源 /霍尔源

设备重量:约7T