真空被银设备1

用途:主要用于对石英晶体振荡器在真空状态下蒸镀金属电极(金、银、铬)

真空室内腔尺寸:φ860mm*H390mm

蒸发源:4路独立阻蒸(8V/400A)

离子轰击:0-3KV,0-200mA

真空系统:双极旋片泵+分子泵空载

极限真空:3.0x10-4Pa空载恢复真空:2x10-3Pa≤10min

真空被银机的内腔尺寸、泵组配置等可根据客户的工艺要求量身定制