应用领域：

适用于电子半导体、大规模集成电路、MAMS、单晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化镓、碳化硅、科研开发、实验分析等。

特点：

●  适用于氮气、氢气、氧气、氩气、氦气和氨气，原料气不低于99.999%

●  深度脱除杂质O₂、H₂O、CO、CO₂、H₂、N₂、CH₄和NMHC至1ppb/10ppb

●  双塔交替吸附再生，单塔催化，终端Getter吸附，全自动连续运行

●  EP级抛光不锈钢管件

●  配置0.003μm过滤器，去除率可达99.999999% /99.99999%

●  西门子 PLC 可接入DCS系统

●  安全报警功能完善

●  可提供远程云服务

●  超净环境中生产组装

●  气体处理量10-20000Nm³/h