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TLX-40碳化硅单晶炉
报价:面议
品牌: 星特亮科技
产地: 江苏
关注度: 17
型号: TLX-40碳化硅单晶炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

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产品介绍

产品型号

性能参数

TLX-40

TLX-40A

TLX-41


1

结构形式

单层英管+水冷屏蔽罩

双层水冷石英管

双层水冷石英管

2

晶体尺寸(吋)

4-6

4-6

6-8

3

内石英管尺寸(mm

Φ380×1100

Φ380×1170

Φ410×1170

4

加热方式

电磁感应

电磁感应

电磁感应

5

加热功率(kw

60

40

40

6

加热频率(kHz

8

8

8

7

**温度(

2400

2400

2400

8

测温方式

上、下

上、下

上、下

9

温度测控范围(

1000-3000

1000-3000

1000-3000

10

温度控制精度(

±0.5

±0.5

±0.5

11

控温模式

功率控制模式

上部温度控制模式

下部温度控制模式

功率控制模式

上部温度控制模式

下部温度控制模式

功率控制模式

上部温度控制模式

下部温度控制模式

12

炉内真空度(Pa

600E-04

600E-04

600E-04

13

抽气速率(mbar*l/s

800L/s

800L/s

800L/s

14

漏气率(mbar*l/s

5.00E-09

5.00E-09

5.00E-09

15

线圈升降速度(mm/h

0.02-2

0.02-2

0.02-2

16

线圈升降距离(mm

200

300

300

17

坩埚升降速度(mm/min

150

150

150

18

坩埚升降距离(mm

≥1250

850

850

19

坩埚旋转速度(rpm

0.1-20

0.1-20

0.1-20

20

炉盖开启方式

气动升降

手动旋转

气动升降

手动旋转

气动升降

手动旋转

21

气体源

N2/Ar/H2

N2/Ar/H2

N2/Ar/H2

22

冷却水压力(MPa

0.15-0.2

0.15-0.2

0.15-0.2

23

冷却水流量(m3/h

5

6

6

24

冷却水温度(

22-26±2

22-26±2

22-26±2

25

冷却水质

PH6-8,软化纯净水

PH6-8,软化纯净水

PH6-8,软化纯净水

26

装卸料位置

上、下

上、下

27

整机控制方式

全自动

全自动

全自动

28

主机尺寸

1400×2100×3800

1400×2100×3600

1680×2200


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星特亮科技有限公司为您提供星特亮科技TLX-40碳化硅单晶炉,TLX-40碳化硅单晶炉产地为江苏,属于粉体焙烧炉,除了TLX-40碳化硅单晶炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供碳化硅设备、DRY-50热压炉、DRX-95型下降炉。
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企业名称

星特亮科技有限公司

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