TRX40型直拉单晶炉主要技术参数
序号
名 称
参 数
备 注
1
炉膛尺寸
Φ400mm×700mm
2
电源
三相AC220V 60Hz
3
加热功率
3×3kw
3段式
4
**加热温度
1200℃
5
工作温度
1150℃
6
控温精度
±0.5℃
7
坩埚轴升降速度
≥200mm/min
8
坩埚轴行程
150mm
9
籽晶轴慢速
0.01-2mm/h
10
籽晶轴快速
11
籽晶轴转速
0-100rpm
12
籽晶轴行程
500mm
13
**高度
2800mm
14
主机重量
1500kg
15
占地面积
1800mm×1800mm