1

电源

380V/50Hz/3Ф

2

变压器容量

160kVA

3

**加热功率

140kW

4

**加热温度

2300℃

5

温度控制精度

±0.5℃

6

工作腔尺寸

Ф950×1200

7

**坩埚尺寸

Ф500×500

8

冷炉极限真空度

5×10ˉ3Pa

9

冷炉压升率

≤5Pa/h

10

坩埚行程

450

11

坩埚转速

0-20rpm

12

冷却水流量

250L/min

13

水压

0.15～0.25 MPa

14

进水温度

25℃±3℃

15

氩气流量

≤200L/min

16

主机**高度

3600

17

主机重量

3000kg

18

整机重量

7000kg