DRX-95型下降炉主要技术参数与性能描述

主要技术参数：

性能描述:

1， 触摸屏+PLC控制;科学合理、稳定可靠的工艺热场是生长高质量晶体材料的关键条件；

2， 3段加热分别有欧陆控温仪控制；

3， 温度/下降速度/位移等多种工艺参数/工艺曲线存储；

4， 温度梯度设置范围:横向梯度  ≤0.5℃/cm

纵向温度梯度:5℃--30℃/cm可设置

5， 密闭环境下的坩埚下降设备——采用密闭腔体(真空或气氛条件)多坩埚下降法晶体生长技术，兼顾了密闭环境(真空或气氛条件)环境和坩埚下降法的优点，有利于稳定热场,确保生长出高质量的晶体，防止原料氧化和水解对性能的危害，同时也可防止组分在高温下的挥发和泄露，避免环境污染；

6， 多坩埚公转自转技术——保证每只坩埚受热均匀，温度一致，晶体质量均衡；

7， 节能环保——加热器采用多段式加热方式，可根据不同工艺要求精确控制各段加热器，在消耗*低电能的情况下获得理想工艺条件下；同时，采用密闭的工作腔，不但有利于晶体生长工艺参数的精准获得，有利于工艺气体的有序流动，更有利于废气的集中排放和处理。

8， 炉底与坩埚运动系统同步升降,在保证坩埚位置精度、运动精度的同时,方便在设备底部装卸料。

9， 炉盖可以升起旋转开，便于安装、调整热场。