全自动胶带研磨清洗机

1）： 采用典型、普遍的湿法清洗方法，使硅片清洗的更彻底； 

2）： 采用独立工位伺服机械手、运行过程可监控； 

3）： 采用先进的酸液控温技术、能有效控制工艺温度； 

4）： 全自动控制，可选择自动配/补液，保证设备的安全稳定性； 

5）： 设备由PLC控制,各部分均可以独立操作 

6）： 采用国际知名电气元件； 

7）： 可满足客户多种工艺及产能的定制化需求。