SIC切割后清洗机

1）： 拥有多种规格型号，适用于不同尺寸SIC晶圆的清洗； 

2）： 适用于4寸丶、6寸、8寸等多规格SIC衬底片的刻蚀清洗 

3）： 全自动控制，机械手传递片篮，采用工控机+触摸屏控制方式，电器件均采用进口品牌 

4）： 自动供/补液，配超声波、溢流循环。在线加热等功能 

5）： 湿法上料，干法下料，配热N2烘干槽 

6）： 配酸碱隔断门、FFU保证设备运行环境