8寸去边机

1）： 适用于多种规格硅片的边缘刻蚀处理； 

2）： 设备主要由寻参定中心机构，刻蚀清洗机构、上下料机构、通风系统、管路控制系统、电气控制系统、机架等部分组成； 

3）： 用真空吸盘吸附硅片的方式搬运硅片； 

4）： 具有两套硅片上料线，上料WTR将硅片搬运至Pre-Aligner中定心并寻参；