1）： 适用SIC衬底片的倒角后清洗，可兼容4寸、6寸、8寸规格 

2）： 全自动控制，高速机械手，保证设备运行平稳，定位可靠 

3）： 全自动控制，机械手传递片篮，采用工控机+触摸屏控制方式，电器件均采用进口品牌 

4）： 人性化的操作界面，采用先进的触摸屏终端显示，智能化记忆控制，有效提高工作效率 

5）： 高速移裁机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠 

6）： 采用国际知名电气元件