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SIC研磨后清洗机
报价:面议
品牌: 天津南轩
产地: 天津
关注度: 23
型号: SIC研磨后清洗机
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产品介绍

 1): 适用于6-12英寸的硅片腐蚀清洗功能

 2): 12”无盒式(No Cassette)晶圆批次处理可供选择;

 3): 软件客制化、模块化设计,工序可灵活编辑、组合选配;

 4): 全程自动化控制,无人工干预,保证产品性能的一致性;

 5): 根据工艺需求,槽体可匹配超声、抖动、旋转、循环和过滤等功能;

 6): 配备高速移载机械手,伺服驱动控制,保证运行平稳,定位可靠;

 7): 可根据工艺需求,匹配超(兆)声、抖动、旋转、溢流循环喷淋等多种功能;

 8): 机台可采用晶圆承载、翻转机构,晶圆移载机器人,FOUP LoadPort配合下料;

 9): 配备温水慢提拉+IR干燥组合方式,确保晶圆干燥完全;


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南轩(天津)科技有限公司为您提供天津南轩SIC研磨后清洗机,SIC研磨后清洗机产地为天津,属于清洗/消毒设备,除了SIC研磨后清洗机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供12寸边缘刻蚀机、SIC全自动预清洗机、8寸去边机。
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南轩(天津)科技有限公司

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