Marangoni干燥

1）： 适用于多种规格晶片的干燥； 

2）： 独立的控制系统，可单独使用，也可整个模组兼容到自动清洗机上使用； 

3）： 无机械运动机构，防止运行时晶圆破损； 

4）： *小的活动部件提供更高的系统可靠性，降低设备维护费用；