E1000 化合物半导体缺陷检测设备

Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备可以检测蓝宝石，砷化镓，钽酸锂，石英玻璃，磷化銦等衬底及外延片。可以检测并区分颗粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、划伤（scratch）、污点（stain）、裂纹（crack）等缺陷，*小可检测缺陷81nm；支持4@、6@、8@晶圆检测，具有高产能、检测准确和检出率高的优点。

适应晶圆尺寸Wafer Size

l Size: 4", 6", 8" compatible; 标配4 cassettes; other size upon request

l Thickness: 350um~1500um（其它厚度需要测试）