l 适用于GaAs EPI外延片

l 具备AOI、OCR等功能

l 兼容4 inch和6 inch晶圆

l 自研光学镜头: FOV ~15.6mm

l 缺陷检测空间分辨率：1.3μm x 1.3μm

l Review复查分辨率： 0.19μm x 0.19μm

l 缺陷检出率 ≥ 98% 

l 缺陷误检率 ≤ 2%

l 缺陷重复性 > 95%

l 镭刻码OCR识别率 ≥ 99.9%（选配）