检测缺陷类别Defect types

l 缺陷尺寸：0.5um or above

l 常规检测：电极异常、外延层脱落、切割道异常、发光区异常、残金、双晶、外延异常

l 深度学习系统与神经网络算法，可以对缺陷类别进行精准分类

l 支持用户定义或协商定制缺陷类别，但增加缺陷类别可能会影响产能