l 具备AOI 、OCR等功能；兼容4 inch和6 inch晶圆

l 自研光学镜头： FOV 15.6mm

l *小缺陷检测能力：0.3μm

l 缺陷检出率 ≥ 98% 

l 缺陷重复性 > 95%

l 镭刻码OCR识别率 ≥ 99.9%（选配）

l 4 inch产能 ≥ 100片/小时

l 6 inch产能 ≥ 60片/小时

l 具备12个分规料盒（Cassette）

l 具备非接触Aligner功能

l 具备晶圆分级功能

l 具备输出检测报表和缺陷分布图功能

l 具备缺陷分类功能，可识别缺陷类别

l 支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口