主要技术指标

l 适用于Aixtron Gx 等单片式行星式转盘系统 

l 测温波长：940nm 

l 测量反射率波长：940nm, 633nm 或定制 

l 曲率测量传感器: CCD 

l 测温范围: 450度-1450度 

l 测量准确度：±1度，重复性精度 <0.5度

l 一个温度反射率测量通道，1个曲率测量通道（可配置多通道）

l 2点RTC探头，同时测量温度，反射率和曲率