1 年

高级会员

已认证

MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS
报价:面议
品牌: 昂坤视觉
产地: 北京
关注度: 21
型号: MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS
展位推荐
更多  
产品介绍

l 适用于Aixtron Gx  每小盘多片行星式MOCVD系统 

l 测温波长:940nm ü测量反射率波长:940nm, 633nm 或定制

l 测量曲率波长:405nm激光

l 曲率测量传感器:PSD

l 测温范围宽:450度~1450度 

l 测量准确度:±1度,重复性精度 <0.5度 

l 一个温度反射率测量通道,1个曲率测量通道(可配置多通道) 

l 单点RTC探头,同时测量温度,反射率和曲率

l 独有算法,可实现行星式多片wafer的曲率测量

viperRTC–LSS (Low Speed Single point curvature) MOCVD在线监测系统,用于慢转速,多片行星式MOCVD设备,实现对工艺反射率(R),温度(T)和翘曲度(C)的实时监测。测温信号,可用于闭环温度控制。


问商家
相关产品
更多  
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备

型号: F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备

面议
图形化晶圆缺陷检测设备

型号: 图形化晶圆缺陷检测设备

面议
E3200 GaN缺陷检测设备

型号: E3200 GaN缺陷检测设备

面议
E1000 化合物半导体缺陷检测设备

型号: E1000 化合物半导体缺陷检测设备

面议
推荐产品 供应产品
昂坤视觉(北京)科技有限公司为您提供昂坤视觉MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS,MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS产地为北京,属于测量/计量仪器,除了MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备、E3200 GaN缺陷检测设备、图形化晶圆缺陷检测设备。
工商信息
企业名称

昂坤视觉(北京)科技有限公司

企业类型

信用代码

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

留言咨询

留言类型

需求简述

联系信息

联系人

单位名称

电子邮箱

手机号

图形验证码

点击提交代表您同意《用户服务协议》《隐私协议》