声达半导体设备(江苏)有限公司
  • 江苏声达
    参考报价:电议
    型号:CMP化学机械抛光清洗机
    产地:江苏
    在线咨询
  • 详细介绍:


    适用工件:
    (Applicable parts)
    6"*1花篮,8"*1 pc花篮
    6”*1 Cassette,8”*1 pc Cassette

    批量产能:
    (Capacity)

    1 batch/10min
    工艺流程:
    (Procedure flow)
    上料(手动)→超声药剂槽→QRD槽→超声碱洗槽→QDR槽→HF槽→QDR槽→下料(手动)
    Load(Manual)→Ultrasonic Cleaning Agent Tank→QRD Tank→Ultrasonic Cleaning Agent Tank→QDR Tank→HF Tank →QDR Tank →Unload(Manual)
    主要材料:
    (Major material)
    金属骨架SUS304+PP乳白板,槽体采用PPN+SUS316
    (Metal frame SUS 304,Ice-Cream PP board,the tank uses PPN+SUS316)