1、机台采用进口劳士领板材，长期可工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏 。

2、采用外置大酸槽制冷循环到小酸槽的结构，可腐蚀开沟4“，5”，6“硅片。

3、全自动运行设计，操作方便安全。

4、温控能力RT~-20°C，温控精度±1°C。

5、制冷盘管**设计，长时间使用不会腐蚀，直接制冷效果佳。

6、开沟均匀，130μm可达±3μm。

7、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI；

8、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。