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全自动单片清洗机
报价：面议
| 品牌： | 山东联盛 |
| 产地： | 山东 |
| 关注度： | 12 |
| 型号： | 全自动单片清洗机 |
产品介绍
1、用于硅、碳化硅、氮化镓等半导体材料的单片腐蚀、清洗、刷洗工艺。
2、机台可实现多尺寸兼容(4&6寸;6&8寸;8&12寸)。
3、工艺腔体经过优化设计，高性能FFU,配合可调节高度的CUP,形成一个稳定强度的downflow，严格控制wafer表面工艺区域的动态环境。
4、可以实现药液(酸/碱/有机)的排废分离，无药液的交叉污染。
5、可适用衬底及外延清洗、PRstrip、Oxideremoval等工艺。
6、支持 GEM/SECS 协议，支持MES 系统联机。
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山东联盛电子设备有限公司为您提供山东联盛全自动单片清洗机，全自动单片清洗机产地为山东，属于清洗/消毒设备，除了全自动单片清洗机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供水平式甩干机、铝腐蚀清洗机、在线加热器。
工商信息
企业名称
山东联盛电子设备有限公司
企业类型
信用代码
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
