抛光片

抛光片是FZ、CZ或MCZ硅锭经过切割、研磨和抛光等工序形成几乎**表面的硅片在平整度和表面质量方面满足**标准。根据掺杂元素的浓度不同，划分为轻掺抛光片和重掺抛光片。