型号
机组稳定抽速(L/S)
空载极限真空(Pa)
分子泵型号
前级泵
机组尺寸(mm,不含罗茨泵)
FJ2000
2000
FF-250/2000
干泵或旋片泵(可配罗茨泵)
1000×600×1500