电子束连续生产线

主要功能在玻璃或其他基材上，用电子束沉积的方式蒸镀各种金属膜或介质膜。

◆蒸发内腔尺寸：1.5×1.5×1.4m

◆蒸发室极限真空：≤ 2×10-4Pa

◆电子枪：4支，每支10kW

◆离子源：4支，空心阴极

◆烘烤温度：**270℃

◆走速：0.5—5m/min