主要特点：模块设计，易于安装体积小巧；自动化高，一键启动运行；功能性强，支持多种靶材镀膜；稳定性好，高效成膜质量可靠。

真空室尺寸(mm)：Φ114×H128；

溅射靶材尺寸(mm)：2英寸(厚度≤2mm)；

样品台：带1个Φ50mm样品台和7个Φ13mm  扫描电镜样品杯，电动旋转。